در روش خلاء ، گاز از طرف اتمسفر به دیواره نمونه تخلیه شده دمیده می شود. در صورت نشت وارد نمونه می شود و به نشت یاب تغذیه می شود. نمونه باید ضد فشار خلاء باشد. مراحل حساسیت GROSS - FINE - ULTRA طی می شود. حد تشخیص نسبت به روش بو کشیدن کمتر است. غلظت هلیوم در نشت باید مشخص شود تا نشت را کمی تعیین کند. باید منتظر وضعیت تعادل بود.